長野県上伊那郡宮田村に本社を置くタカノ株式会社（代表取締役社長：鷹野 雅央）は、ドイツで開催される「SEMICON Europa 2026」において、ウェーハ表面検査装置WM＋シリーズの「WM-7SR+」「WM-10R+」の特長や仕様をパネルで紹介する予定です。

展示は、2026年11月10日(火)から13日(金)の期間、ミュンヘンのメッセ・ミュンヘン(Messe München)にて実施されます。同社の欧米独占代理店であるClassOne Equipment, Inc.（本社：米国ジョージア州アトランタ）のブース（B0 424）内で行われます。

欧米での装置更新ニーズに対応

欧米では、長年使用されてきたパーティクル検査装置の保守部品や技術者の確保が難しくなりつつあり、装置更新の需要が高まっています。WM＋シリーズは、2～12インチの幅広いウェーハサイズに対応し、長期使用に対応した信頼性と低ランニングコストを両立したパーティクル検査装置として、こうした状況に対応します。

欧州・北米においては、代理店であるClassOne Equipment社が販売から据付、保守サービス、部品供給までを一貫してサポートする体制をとっています。今回の出展では、デバイスメーカー、装置メーカー、ウェーハ・材料メーカー、研究機関などを対象に製品の紹介が行われます。

ウェーハ表面検査装置 WM＋シリーズは、半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理で使用される検査システムです。ナノレベルの異物（パーティクル）を検出することが可能で、光源に半導体レーザーを使用することでランニングコストの軽減を図っています。

最新モデルとなる「WM-7SR+」および「WM-10R+」は外観デザインを刷新しており、従来機と同等の性能を維持しながらブランドの一貫性と訴求力を強化しています。また、構成部材の見直しによって長期使用に対応した信頼性を確保した設計となっています。いずれもSEMI、FDA、CE、UKCAに準拠しています。

各モデルの主な仕様は以下の通りです。

• WM-7SR+
• 最高検出感度（Bare-Si）：79nm（61nm optional）
• ウェーハサイズ：2～8inch
• ダイナミックレンジ：79nm～5.0μm
• 装置サイズ（mm）：W860 × D905 × H1655
• 安全認証：SEMI, FDA, CE, UKCA 準拠

• WM-10R+
• 最高検出感度（Bare-Si）：48nm
• ウェーハサイズ：4～12inch
• ダイナミックレンジ：48nm～5.0μm
• 装置サイズ（mm）：W1530 × D1242 × H1955
• 安全認証：SEMI, FDA, CE, UKCA 準拠

展示会の開催概要

• 開催日程：2026年11月10日(火)～13日(金)
• 開催時間：9:00～18:00（最終日のみ15:00まで）※現地時間
• 開催場所：ドイツ・ミュンヘン　メッセ・ミュンヘン(Messe München)　※electronica 2026と同時開催
• 出展ブース番号：B0 424（ClassOne Equipment, Inc.ブース）
• 公式HP：https://www.semiconeuropa.org
• 来場登録：公式サイトでの来場登録（チケットの取得）が必要（https://www.semiconeuropa.org/about/register）

関連企業概要

タカノ株式会社は1941年7月1日創業、1953年7月18日設立で、東京証券取引所スタンダード市場に上場しています（証券コード：7885）。ばねの製造から始まり、オフィス家具、エクステリア製品、検査計測装置、電磁アクチュエータ、医療・健康福祉機器、臨床検査薬の製造ならびに販売を手がけています。

欧米独占代理店のClassOne Equipment, Inc.は、欧州・北米においてWMシリーズの販売、据付、保守サービス、部品供給を担うほか、新品装置やリファービッシュ（再生）装置、交換部品の販売などを展開しています。

• タカノ株式会社
• 所在地：長野県上伊那郡宮田村137
• 代表者：代表取締役社長　鷹野 雅央
• URL：https://www.takano-net.co.jp

• ClassOne Equipment, Inc.
• 本社：米国ジョージア州アトランタ
• URL：https://classoneequipment.com

本記事はタカノ株式会社の発表をもとに作成しています。