ウェットブラスト装置専門メーカーのマコー株式会社は、半導体製造装置に搭載される真空ポンプの部品メンテナンス向けクリーニング装置「SSB-K」を8月3日に発売しました。

同社が長年培ってきたウェットブラスト工法を応用し、真空ポンプのケーシングやローターなどを自動で洗浄する装置として開発されました。

半導体需要の拡大と真空ポンプのメンテナンス課題

生成AIの普及に伴い、CPUやGPU、HBMなどデータセンター向け半導体の需要が世界的に拡大しています。これに伴って半導体製造装置の導入が進み、成膜やエッチングなどの真空環境で行われるプロセスを支える真空ポンプの重要性が高まっています。

真空ポンプは装置内を真空にする際に成膜材料やエッチング生成物も吸引するため、内部に堆積物が蓄積し、安定稼働には定期的な分解と洗浄が不可欠です。しかし、従来の洗浄工程は手作業への依存度が高く、複雑な形状への対応に熟練技術と多大な工数を要していました。また、堆積物に含まれる有害物質や爆発リスクのある成分、強アルカリ薬液による浸漬洗浄に伴う作業環境や安全面での課題も存在していました。

自動洗浄と飛散抑制で作業負担軽減と安全性向上へ

今回発売された「SSB-K」は、洗浄対象を回転テーブルに固定し、照射ノズルをオシレーションさせることで、複雑な形状でも効率よく全面を自動洗浄します。自動洗浄が難しい箇所のみハンドガンで補完する仕組みを採用し、高い洗浄品質を維持しながら作業負担を大幅に軽減します。

また、水・空気・研磨材を利用するウェットブラスト工法の特徴を活かし、除去した粉じんや堆積物を液中に取り込んで飛散を抑制するため、作業者の安全性向上や作業環境の改善にも寄与します。

マコー株式会社は、水と空気と研磨材を混ぜ合わせて吹き付ける表面処理技術「ウェットブラスト」装置の製造・販売を行う専門メーカーです。卓上サイズから大型設備まで2,000台以上の製造実績があり、自動車、工具、半導体業界など幅広い分野で国内外の企業に導入されています。

• 会社名：マコー株式会社
• 代表者：代表取締役社長 浅井 嘉久
• 所在地：新潟県長岡市石動町字金輪525
• 事業内容：ウェットブラスト装置の製造・販売、表面処理技術の提供
• URL：https://www.macoho.co.jp/

本記事はマコー株式会社の発表をもとに作成しました。

Dellows News編集部

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