キヤノン株式会社は、公益社団法人発明協会が主催する令和8年度関東地方発明表彰において、「高い重ね合わせ精度を実現する露光装置」（特許第6308749号）で「文部科学大臣賞」を受賞した。今回の表彰では、キヤノングループ全体で「栃木県知事賞」や「山梨県知事賞」などを含め、計10件が選ばれている。

地方発明表彰の概要

地方発明表彰は、公益社団法人発明協会が1921年（大正10年）から実施している表彰制度である。各地域における発明の奨励・育成を図り、科学技術の向上と地域産業の振興に寄与することを目的としており、全国を8地方に分けて優れた発明、考案または意匠を生み出した技術者や研究開発者を顕彰している。

文部科学大臣賞を受賞した露光装置技術

今回「文部科学大臣賞」を受賞した発明は、FPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置の非線形補正ユニットに関する技術である。この発明を適用した露光装置は、多層化や複雑化した構造を持つ高機能ディスプレイの製造を可能にし、小型から大型に至る幅広い画面サイズや解像度のディスプレイ製造に活用されている。

回路パターンを何層も重ねてディスプレイを製造するFPD露光装置では、回路の微細化・多層化に伴い、より高い重ね合わせ精度が求められている。一方、ガラス基板上に形成した回路パターンには、前工程の熱負荷や各種処理の影響で複雑な非線形の歪みが生じるため、新たに転写する回路パターン像をその歪みに応じて補正する必要があった。

非線形補正ユニットの仕組みと精度向上

開発された非線形補正ユニットは、円弧状の平行平板ガラスと、その縁に配置された32個のアクチュエータ（駆動装置）で構成されている。形成済みの回路パターンの歪みを計測し、形状に応じて各アクチュエータを独立して制御することで、平行平板ガラスを局所的に変形させ、ナノメートルオーダーの精密なうねりを生成する仕組みとなっている。

露光光をこの平行平板ガラスに通過させることで、新たに転写する回路パターン像が形成済みの回路パターンの形状に合わせて補正される。この技術により、重ね合わせ精度は従来の±0.5µmから±0.3µmへと向上した。

キヤノングループにおける各賞の受賞内容は以下の通りとなっている。

• 文部科学大臣賞：「高い重ね合わせ精度を実現する露光装置」（特許第6308749号）／権利者：キヤノン株式会社
• 栃木県知事賞：「画像内の臓器毎に特徴づけられた再構成処理」（特許第7598496号）／権利者：キヤノン株式会社
• 山梨県知事賞：「ダブル連結給紙装置での印刷前紙揃え機構」（特許第7693069号）／権利者：キヤノンファインテックニスカ株式会社
• 発明奨励賞：「画質劣化を抑えたマイクロフォーカスX線源」（特許第6468821号）／権利者：キヤノン株式会社
• 発明奨励賞：「アクションを優先した主被写体の決定方法」（特許第7525990号）／権利者：キヤノン株式会社
• 発明奨励賞：「IJ高速・高画質を実現するドット配置技術」（特許第7551380号）／権利者：キヤノン株式会社
• 発明奨励賞：「不活性ガス循環型のトナー容器破砕方法」（特許第6560893号）／権利者：キヤノン株式会社、キヤノンエコロジーインダストリー株式会社
• 発明奨励賞：「クラスタ型成膜装置の連結部膜厚測定」（特許第7150776号）／権利者：キヤノントッキ株式会社
• 発明奨励賞：「高効率クライストロン」（特許第7011370号）／権利者：キヤノン電子管デバイス株式会社
• 発明奨励賞：「対話型応答機能を備えたアプリケーションの構築技術」（特許第7572643号）／権利者：キヤノンマーケティングジャパン株式会社、キヤノンITソリューションズ株式会社

本記事はキヤノンの発表をもとに作成。

Dellows News編集部

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