電子計測器の製造および販売を行う株式会社小野測器（代表取締役社長：大越 祐史）は、2026年10月5日（月）に新製品「TEDS対応高感度小型3軸加速度センサーNP-3580N10」を発表、発売しました。

半導体製造装置や精密加工機などの分野に向け、装置内部の限られたスペースに直接取り付けて微小な振動を検出できる高感度と小型・軽量を両立したセンサーです。

開発の背景と微小振動計測の課題

半導体製造装置や精密加工機などの分野においてナノメートルレベルの微細化が進む現在、加工精度に直結するわずかな振動の管理が不可欠となっています。製品品質を守るためには微小な揺れの計測が重要となる一方で、一般的な汎用センサーでは微小な振動がセンサー自身のノイズに埋もれてしまい、計測が困難な場合がありました。

さらに、実際に計測したい内部の加工部フレーム等は限られたスペースしかないことから、現場では高感度と小型・軽量を両立したセンサーが求められていました。

NP-3580N10の主な特長

本製品は、19.5 mm角という小型サイズと25 g未満の軽量化を実現しつつ、100 mV/(m/s²)の高感度と低ノイズ性能を両立しています。装置内部の限られたスペースに直接取り付けでき、ノイズに埋もれていた微小振動を検出することが可能となり、精密加工分野が抱える課題の解決に大きく貢献するとしています。

• 高感度、低ノイズ：感度100 mV/(m/s²)、センサーノイズ４００ μm/s² rms以下を実現し、感度10 mV/ (m/s²)では計測が困難だった微小な振動を捉えます
• 小型、軽量設計：19.5 mm角、質量25 g未満のため、大型の製造装置内や限られたスペースのフレームにも容易に設置可能です
• TEDS（Transducer Electronic Data Sheet）対応：計測機器に接続するだけでセンサー情報の自動読み込みが可能となり、設定の省力化や誤設定の防止に貢献します

主なターゲット市場と用途

本製品が想定するターゲット市場および主な用途は以下の通りです。

• 半導体製造装置（露光装置など）や精密加工機の設計・開発、保全における振動評価
• 顕微鏡、三次元測定機、除振台などの微小振動計測や状態把握
• 装置と床の伝達特性の把握、実験モード解析、外乱要因の特定および対策

株式会社小野測器の概要

1954年創業の株式会社小野測器は、電子計測機器の製造、販売ならびに各種エンジニアリングサービス事業を展開しています。創業同年には、国内初となるジェットエンジンの回転数を計測する回転計を開発しました。

自動車産業では二輪・四輪車、自動車部品、その他建設機械、食品や医療検査等、幅広い分野において研究開発のサポートから製造工程での測定技術を提供しています。自動車メーカーHondaの第二期（1983-1992）F1レース活動において、V6ターボエンジンのベンチ試験用の操作システムを特注制作するなど、同社の優勝に技術面でサポートを行いました。近年では電動車両（EV）開発支援など、カーボンニュートラル社会実現のために新たなビジネス領域への参入を行っています。

本記事は株式会社小野測器の発表をもとに作成しました。

Dellows News編集部

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