太陽ホールディングスとimec、次世代半導体向け絶縁材料の共著論文を発表

太陽ホールディングス株式会社は、2026年9月10日（木）にフィンランドのヘルシンキで開催された「The 11th IEEE Electronics System-Integration Technology Conference（IEEE ESTC 2026）」にて、次世代半導体パッケージング用材料に関する論文を発表しました。本論文は世界最大級の半導体研究機関であるimecとの共著です。デュアルダマシンプロセス向け微細ピッチRDLネガ型i線感光性絶縁材料「FPIMシリーズ」を用い、12インチウエハー上で各配線およびビアの両方でCD700nmの目標寸法を達成した成果などを報告しました。

imecとの共同研究と開発の背景

RDL（再配線層）は、半導体チップ表面に形成され電気配線を再分配するための層で、先端パッケージングにおいて重要な技術とされています。現在は主にセミアディティブプロセス（SAP：全体に薄いシード層を形成後、配線部分を電解めっきにてパターン形成する方法）で製造されていますが、imecは配線間隔1.6μm以下の微細配線形成においてはデュアルダマシンプロセス（絶縁膜上に配線部分の溝を形成し、スパッタ、CVD、電解めっきなどで溝を埋め込みパターンを形成する方法）が必須になると提唱しています。

これを受け、太陽ホールディングス株式会社はデュアルダマシンプロセス向け微細ピッチRDL次世代材料として「FPIMシリーズ」を開発し、2022年10月よりimecと共同研究を開始しました。2024年11月からはimecへ駐在員を派遣して連携体制を整え、2025年11月には12インチウエハー上でのCD（クリティカルディメンション：微細なパターン寸法）1.6μmの3層RDL形成およびビアCD2μmの達成に関する共著論文を発表していました。

実証評価でCD700nmと良好な電気特性を確認

今回の研究では、「FPIMシリーズ」を用いて12インチウエハー上にRDL3層構造を形成して評価を実施しました。その結果、各配線およびビアの両方で目標寸法であるCD700nmを達成しました。

あわせて、CD700nmのメタル1層（M1）におけるリーク電流および抵抗の電気特性を評価したところ、良好な結果が得られました。これにより、本材料が優れた電気特性と高解像性を持ち、ウエハー表面を化学的・機械的に平坦化するCMPプロセスに適応できる品質を備えていることが確認されたとしています。将来のサブミクロンクラスのRDL設計ルールへの発展を見据えた、次世代アドバンスドパッケージ向けインターコネクト技術における成果となります。

学会発表概要と今後の展開

発表が行われた学会の詳細は以下の通りです。

学会名: The 11th IEEE Electronics System-Integration Technology Conference
開催場所: ヘルシンキ（フィンランド）
開催期間: 2026年9月9日（水）～11日（金）
発表セッション: MIP 1: Dielectric and Glass Materials for Advanced Substrates
共著論文タイトル: A Novel i-Line Photosensitive Dielectric Material Enabling 700 nm Polymer Damascene RDL for Advanced Packaging
学会関連リンク: https://www.estc-conference.net/

太陽ホールディングス株式会社は今後、ウエハー上の配線間隔CD500nm以下のRDL形成の実現を目指すとともに、電気特性および信頼性の長期性能の検証を継続する方針です。なお、「FPIMシリーズ」は2025年よりR&D用途として少量サンプルの出荷を開始しています。

太陽ホールディングス株式会社の概要

太陽ホールディングス株式会社は、代表取締役社長を齋藤斉が務め、電子機器のプリント基板表面を保護するソルダーレジストにおいて世界シェアNo.1（株式会社富士キメラ総研「2024年エレクトロニクス先端材料の現状と将来展望」調べ）を有する企業です。エレクトロニクス事業のほか、医療・医薬品事業、ICT事業、ファインケミカル事業、エネルギー事業、食糧事業などを展開しています。

本店所在地: 埼玉県比企郡嵐山町大字大蔵388番地
本社: 東京都豊島区西池袋一丁目11番1号　メトロポリタンプラザビル16階
設立: 1953年9月29日
資本金: 102億617万円
従業員数: 連結 2,561名/単体 176名（2026年3月末時点）
証券コード: 4626
関連リンク: https://www.taiyo-hd.co.jp/

本記事は太陽ホールディングス株式会社の発表をもとに作成されています。

Dellows News編集部

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