アンリツ株式会社（社長 濱田 宏一）の広帯域ベクトルネットワークアナライザVectorStar™ ME7838Gが、韓国の研究機関である韓国電子通信研究院（ETRI）に採用された。ETRIが推進するGaN MMICを用いた高周波デバイスの特性評価および設計検証に活用される。ETRIは同機器の導入によってミリ波・サブテラヘルツ帯向け評価基盤を構築し、測定再現性の向上と信頼性の高い設計検証を実現した。

次世代通信技術の進展に伴い、評価対象となる周波数領域はミリ波・サブテラヘルツ帯へと広がっている。ETRIは、GaN MMICを用いたデバイス開発の設計精度および性能予測の向上を目的として、動作周波数帯に加えて高調波領域までを含めた広帯域での特性評価を行っている。

高周波デバイスの特性評価では、パッケージや実装の影響を排除してデバイス特性を評価するオンウェハ測定が広く利用されている。しかし、ミリ波・サブテラヘルツ帯のオンウェハ測定では、プローブの接触状態や測定系の影響により測定ばらつきが生じやすく、設計データと実測データを高い精度で比較・検証するための評価基盤の構築が課題となっていた。

最大220 GHz対応の単一プラットフォームで一貫した測定環境を構築

こうした課題に対応するため、ETRIはME7838Gを導入した。ME7838Gは最大220 GHzまでのシングルスイープ測定に対応しており、ミリ波からサブテラヘルツ帯までを単一プラットフォーム上で評価できる。

広帯域評価を単一の測定系で行えるため、周波数帯域ごとに測定系を切り替えることなく、ミリ波からサブテラヘルツ帯まで一貫した測定条件でオンウェハ測定を実施できる評価基盤が構築された。これにより、広帯域で取得した測定データを設計データと一貫した条件かつ高い精度で比較・解析できる環境を実現している。

次世代通信を見据えた計測技術の展開

アンリツは、6Gや次世代衛星通信に向けた高周波デバイス開発において、広帯域での特性評価と高い測定再現性を両立する計測技術の重要性が今後さらに高まると考えており、今後も計測技術を通じて顧客の半導体研究開発および評価を支援していくとしている。

なお、本事例の詳細は、アンリツ公式Webサイトに掲載されているPDF「ファウンドリ品質を支える高周波評価基盤を構築」に紹介されている。

韓国電子通信研究院（ETRI）の概要

• 正式名称：韓国電子通信研究院（ETRI、Electronics and Telecommunications Research Institute）
• 研究分野：情報通信技術（ICT）、エレクトロニクス、半導体などの分野、6Gをはじめとする次世代通信技術や先端半導体技術の研究開発

本記事はアンリツ株式会社の発表をもとに作成されています。

Dellows News編集部

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