タカノ株式会社は、2026年9月2日から4日にかけて台湾の台北南港展覧館で開催される「SEMICON Taiwan 2026」に出展する。デバイスメーカーやファウンドリー、装置・材料メーカーなどを対象に、半導体向けの各種検査装置や新技術を披露する予定だ。チップの大型化や高密度化が進む先端パッケージに対応するウェーハ検査装置などを中心に紹介する。

先端パッケージやウェーハ向けの各種検査装置を展示

ブースでは、先端パッケージ向けウェーハのマイクロバンプの高さを全数検査する「ALTAX-300EX」や、1台で2D検査と3D検査を網羅する「ALTAX」シリーズが中心として紹介される。自社開発の高速カメラや独自アルゴリズムを搭載し、高スループットと検査精度を両立する。

また、ナノレベルの異物（パーティクル）を検出するパターンなしウェーハ表面検査装置「WMシリーズ」からは、2〜8インチ対応の「WM-7SR+」と4〜12インチ対応の「WM-10R+」をラインナップする。さらに、配線パターンやクラック、異物混入などを高精度に検査するウェーハ外観検査装置「Viシリーズ」も出展される。

開発中の微小荷重変位計測機や高機能フィルム検査装置も出品

新開発の装置として、微小荷重変位計測機「TST-001-P（開発品）」も紹介される。応力・変位・抵抗の同時測定に対応し、応力は0.0001N単位、変位は0.1μm単位の分解能で微小な特性評価を行える。

あわせて、高機能フィルム市場向けのフィルム外観検査装置「HAWKEYESシリーズ」も展示される。同社調べで業界最速クラスとする検査速度を実現しており、会場では「HAWKEYES ONE」「HAWKEYES ELITE」「HAWKEYES PATTERN」が披露される予定となっている。

SEMICON Taiwan 2026の開催概要

• 会期：2026年9月2日（水）〜4日（金）
• 開催時間：10:00〜17:00（最終日は16:00まで、現地時間）
• 会場：台湾 台北南港展覧館1館・2館（TaiNEX）
• 出展ブース番号：L0400
• 公式ウェブサイト：https://www.semicontaiwan.org

タカノは長野県上伊那郡宮田村に本社を置き、ばねの製造からオフィス家具、エクステリア製品、画像処理検査装置や電磁アクチュエータなどのエレクトロニクス関連製品、医療・福祉機器まで幅広い事業を展開している。

• 会社名：タカノ株式会社（東京証券取引所スタンダード市場、証券コード：7885）
• 所在地：長野県上伊那郡宮田村137
• 代表者：代表取締役社長 鷹野 雅央
• 創業：1941年7月1日
• 設立：1953年7月18日
• 公式ウェブサイト：https://www.takano-net.co.jp

本記事はタカノ株式会社の発表をもとに作成されています。