神奈川県川崎市に本社を置く株式会社AndTechは、研究開発支援向けオンライン講座の一環として、「KrF・ArFを中心とした半導体用レジスト材料の設計・合成と評価技術」をテーマとするWEBセミナーを2026年10月13日に開講する予定です。

同セミナーでは、KrFやArFを中心とした半導体用レジスト材料の分子設計、合成、評価技術のほか、電子線（EB）や極端紫外線（EUV）、メタルレジストへの展開について解説が行われます。

講座では、化学増幅型システムを基盤とするフォトレジスト材料の進化や、高分子・低分子を用いたレジスト材料の開発、合成例および分子設計指針について基礎から応用までを取り上げます。さらに、基礎的な評価方法や最新のEUVレジスト材料の開発手法についても扱われます。

プログラムの主な構成は以下の通りです。

• 半導体の歴史とレジスト材料の変遷（原理、合成例、化学増幅型レジスト材料の原理や例）
• ポジ型レジスト材料およびネガ型レジスト材料の特性と主な応用・用途
• 高分子レジスト材料と低分子レジストの特性と応用
• レジスト材料の評価項目・評価手法と開発例
• 最新型レジスト材料（メタルレジスト、EB・EUV用レジスト材料）
• よく出る質問、ケーススタディ、質疑応答

開催概要

• 日時：2026年10月13日（火）10:30〜16:30
• 配信形式：Zoom（ライブ配信）
• 参加費：50,600円（税込、電子資料配布予定）
• 詳細ページ：https://andtech.co.jp/seminars/1f1a1168-d6c6-612c-a003-064fb9a95405

株式会社AndTechの概要

株式会社AndTech（代表取締役社長：陶山正夫）は、化学、素材、エレクトロニクス、自動車、エネルギー、医療機器などの幅広い分野で研究開発支援サービスを提供しています。技術講習会やセミナーの開催をはじめ、講師派遣、出版、コンサルティングなどを展開しています。

本記事は株式会社AndTechの発表をもとに作成。

Dellows News編集部

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