リガク、ナノスケールX線顕微鏡CT Lab HR160を発売 Excillumと協業
リガク・ホールディングスのグループ会社である株式会社リガク（東京都昭島市、代表取締役社長：川上 潤）は、スウェーデンのExcillum AB（ストックホルム、CEO：David Lindblom）との協業により、ナノスケールX線顕微鏡「CT Lab HR160」を発売した。電池や半導体デバイス、電子部品、先端材料の解析に対応する。従来のマイクロスケールCTシステムでは難しかった微細構造の非破壊3次元観察を、ラボ環境で実現する。
最大160kVの管電圧と250nmの空間分解能を実現
CT Lab HR160は、リガクのX線CTイメージング技術とExcillum製のX線源「NanoTube N3」を組み合わせた装置である。最大160キロボルトの管電圧により幅広いサンプルに対応し、業界最高水準とする250ナノメートルの空間分解能を実現した。
これにより、従来のマイクロスケールCTシステムでは観察が困難だった微細な内部構造や欠陥を、非破壊で3次元観察することが可能となった。また、コーンビーム光学系を採用しており、X線発生装置や検出器を交換することなく撮影範囲や分解能を調整できるため、さまざまなサンプルに柔軟に対応できるとしている。
電池や半導体デバイスなどの解析課題に対応
電池、半導体デバイス、積層セラミックコンデンサ（MLCC）、パワーエレクトロニクスなどの分野では、高性能化や微細化、構造の複雑化が進み、より微細な内部構造や欠陥を高精度に評価する解析技術が求められている。
両社の技術を融合したCT Lab HR160は、これらの課題に応える高度な解析をラボ環境で可能にし、開発期間の短縮、製品品質の向上、より精密な故障解析などへの貢献が期待されている。製品の詳細はリガクのウェブサイトで案内されている。
両社の概要
- 株式会社リガク（リガクグループ）：1951年創業。X線分析や熱分析などの分析技術を提供し、136の国と地域で事業を展開。海外売上比率は約70%で、世界に2,000名超の従業員を抱える。
- Excillum AB：2007年創業、スウェーデン・ストックホルムに本社を置く。産業用および実験室用X線源の開発・製造・保守を手掛ける。
本記事は株式会社リガクの発表をもとに作成。
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