株式会社光響は、自社が開発・製造するフェムト秒レーザー加工機の導入検討や加工技術の理解に役立つ技術資料を公開した。半導体や電子部品、医療機器などの分野で熱影響を抑えた微細加工の需要が高まる中、基礎知識や加工事例を体系的に解説している。資料は専用フォームからの申し込みによりダウンロードが可能となっている。

技術資料公開の背景

半導体、電子部品、光学部品、医療機器などの分野では、熱影響を抑えた高精度な微細加工への要求が高まっている。フェムト秒レーザーやピコ秒レーザーなどの超短パルスレーザーは、極めて短時間で発光することで非熱加工（コールドアブレーション）を可能とし、バリやクラックが生じにくい加工を実現する技術として注目されている。一方で、レーザーの種類や加工原理、適用材料、加工条件などの専門知識が必要となるため、導入にあたっては基礎技術の理解が重要となる。

資料の主な掲載内容

本資料では、フェムト秒レーザー加工の基礎知識から高精度加工の特徴、加工可能な材料や形状、計算方法までが整理されている。

• 高精度加工機の種類とフェムト秒レーザー加工機の位置付け
• 超短パルスレーザー加工の特徴
• 超短パルスレーザーの加工材質例、加工形状例
• パルスレーザーの基礎知識とパルスエネルギー・ピーク出力・ピーク強度の計算方法
• 光響製 超精密フェムト秒レーザー加工機の紹介

紹介されている加工事例

資料内では、透明体からシリコンウェハーまで多様な材質に対する加工形状例が一覧化されている。

• ガラス：材料表面へ超短パルスレーザー（波長1030nm、515nm、343nm／パルス幅フェムト秒）を照射し、ナノメートルオーダーの周期構造を形成。見る角度によって色が変化する回折現象が得られる。
• シリコンウェハー（厚さ0.5mm）：波長515nmのフェムト秒レーザーを使用し、φ0.2mmの穴を0.25mm間隔で貫通させる六方最密パターンの微細穴加工を実施。

関連製品と問い合わせ窓口

同社は関連製品として超精密フェムト秒レーザー加工機「Femto-pro」を展開している。資料のダウンロードおよび製品に関する問い合わせ窓口は以下の通り。

• 資料ダウンロード：https://www.symphotony.com/contactus/fs-technical01-sheet_form/?utm_source=prtimes&utm_medium=referral&utm_campaign=LFS_20260902
• 製品ページ：https://www.symphotony.com/products/ultrashort/femto-pro/?utm_source=prtimes&utm_medium=referral&utm_campaign=LFS_20260902
• 担当窓口：株式会社光響 レーザープロセシング部（担当：川端）
• 問い合わせフォーム：https://www.symphotony.com/ultrashort_contact/
• 電話番号：080-2452-9200（平日9:00〜18:00、土日祝日を除く）
• メールアドレス：fs-inquiry@symphotony.com

本記事は株式会社光響の発表をもとに作成。

Dellows News編集部

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